“德贤数理”青年人才学术沙龙第21期举行

3月26日，数理学院闻小龙副教授于理化楼401，作题为“谐振式MEMS电场传感器关键技术及应用”的学术报告，该报告为“德贤数理”青年人才学术沙龙第二十一期，学院多位师生参加了本次沙龙，本次沙龙由应用物理系主任和建刚主持。

闻小龙围绕微机电系统（MEMS）技术的电场传感器关键技术及应用情况，首先介绍了电场测量在航天、气象、工业生产、石油石化及电网等领域的应用需求，对国内外电场测量技术的优缺点进行了对比。随后他指出MEMS电场传感器在体积、功耗、批量化制备、成本等方面相比对传统技术更具有显著优势，并详细讲解了传感器的敏感原理、结构设计、封装、工艺制备及信号检测等关键技术。闻小龙最后介绍了在敏感芯片基础上研制出的大气电场传感器、工业静电传感器等应用仪器，这些仪器已获得权威第三方检测认证报告，并且在雷电预警、静电监控等系统上已经成功应用。

交流环节中，闻小龙与在座师生就MEMS结构中压电材料的选择、工艺兼容性和新材料在MEMS技术中应用的可能性等问题进行了热烈探讨，学术沙龙最终在热烈的掌声中圆满结束。

“德贤数理”青年人才学术沙龙在本学期将持续开展，邀请各学科领域优秀青年教师分享学术前沿问题及学术成长发展道路。

（摄影：数理学院）

（责编：付云笛）